超级工业黑科技系统_第245章 牛逼的铁人三项 首页

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   第245章 牛逼的铁人三项 (第3/4页)

V光刻步骤:

    1)激光脉冲被放大到非常高的功率,输出超过30kW平均脉冲功率的激光。

    2)不断滴下的锡珠被激光束击中成为一个发光的等离子体,发射出波长为指定数值的的EUV光。

    3)极紫外光聚焦后,通过反射透镜首先传输到光刻掩模上,然后照射到晶圆基片上。

    技术难点:

    1)放大阶段会不断增加它的功率,但必须确保两个光束在锡珠上有正确的聚焦,同时还要满足其他光学性能。

    2)由于每束脉冲激光都由非常微小的、紧凑的光粒子组成,需要紧紧地抛向锡珠为了正确地击中它们的目标,它们必须在正确并精确的瞬间到达;否则,冲击力将无法压平锡珠。

    3)激光束以极大的功率稳定传输,同时还要准确无间的和其他部件协作,系统的复杂性极高,研究光源的同时,其他部分也需要同时开启研发。

    从这两个目标的大纲规划来看,第一个目标相对容易,有现成的研究成果支撑,只需要不断的调整即可。

    最难的是第二个工程,EUV光刻机的技术论证是一个极其庞大的过程,李树的超级数据库里,虽然已经有成熟的整机可供参考,不过以目前现实的技术条件来说,最关键的部分还是难以开始。

    可以确定的是,西方发达国家已经从现在开始了对EUV光刻机的研究工作,同时倾注了大量的财力和人力,华夏虽条件不如人家,可也要奋起直追了。

    马瑶翻了一会儿复杂的技术资料,叹了一
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